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更新時間：2025-12-27 
瀏覽次數：74osakavacuum大阪真空腐蝕性氣體泵送干泵ER100DC
osakavacuum大阪真空腐蝕性氣體泵送干泵ER100DC
ER系列：節(jié)能多級根泵
ER系列通過其獨特的轉子設計和怠速功能實現(xiàn)了世界**的節(jié)能和緊湊性能。憑借耐腐蝕選項，ER系列可在輕型領域如負載鎖和SEM到腐蝕工藝等廣泛應用中運行。
-ER100D/ER100DC在能源效率、輕便和緊湊性方面均為同級*佳之一。
極限壓力下
能耗：400W
占地面積：0.11米2
重量：60公斤
- 有兩種類型可供選擇。
ER100D：用于輕負載、非腐蝕性氣體泵送
ER100DC：采用防腐材料，用于腐蝕性氣體泵送
應用
- 清潔排氣
系統(tǒng) - 濺射系統(tǒng)
- TMP
的后備真空泵 - 負載鎖定與轉移室
- 小型實驗室系統(tǒng)
- 小型爐子
- 分析設備
- 離子源，電子槍
| 模型 | ER100D/ER100DC | |
| 體積流量（L/min） | 1670 | |
| 基壓（Pa） | 5.0 | |
| 極限壓力（W）下的能量消耗 | 400 | |
| 電源 | 電壓（V） | 200-220 |
| 頻率（Hz） | 50/60 | |
| 階段 | 三相 | |
| 功率能力（kVA） | 3.2 | |
| N2氣體凈化通量（Pa·m3/s） | 17-20 | |
| 冷卻系統(tǒng) | 水冷 | |
| 所需流量（L/min） | 1.5-3.0 | |
| 所需溫度（°C） | *多30人 | |
| 體重（公斤） | 60 | |
[對應氣體]
某些需要抽空的氣體可能會損壞泵。
請聯(lián)系大阪真空，獲取適用的燃氣類型列表。
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