TG2400F日本大阪真空OSAKA渦輪分子泵北崎熱賣

更新時間：2025-11-08

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任何方向類型 TG-F 系列

使用油脂潤滑球軸承，用于小型、輕便和低成本的泵?？箾_擊設(shè)計使渦輪分子泵能夠安裝在移動設(shè)備或運(yùn)動部件上。產(chǎn)品陣容提供從 50 L/s 到 2400 L/s 的型號。

潤滑脂潤滑球軸承型渦輪分子泵的橫截面

ターボ分子ポンプ斷面図（グリス?jié)櫥褫S受形

產(chǎn)品陣容

TG2400F

■ 任何方向

■ 緊湊的尺寸

■ 節(jié)能

■ 快速啟動

■ 帶排氣口快速關(guān)閉

■ 用于涌入空氣的耐用結(jié)構(gòu)

■ 串行通信
※RS232C 串行接口

■ 通過安全標(biāo)準(zhǔn)NRTL/SEMI-S2/CE

應(yīng)用

■ 半導(dǎo)體生產(chǎn)

■ 電子槍排氣、電離源排氣

■ FPD制造

■ 表面處理、表面改性

■ 各種電子元件的制造

■ 分析、檢測設(shè)備

■ 燈具生產(chǎn)、光學(xué)元件生產(chǎn)

■ 加速裝置、輻射設(shè)施、核聚變研究

■ 熱處理

■ 研究與開發(fā)

*如果排出腐蝕性氣體，請選擇我們的化學(xué)用TG-M或TG系列。

Model		TG2400F	TG2400F-40
Inlet flange		VG250/ISO-B250
Volume flow rate	N2 (L/s)	2400
	N(with protective screen) (L/s)	2300
	H2 (L/s)	1100
Max. compression ratio	N2	1×108
	H2	1.4×103
Base pressure	(Pa/Torr)	<1×10-6/<7.5×10-9
Max. throughput※1※2	(sccm)	900	1500
Startup time	(min)	5-7
Shutdown time	(min)	15-18
Max. backing pressure	(Pa/Torr)	200/1.5
Recommended backing vacuum pump	(L/min)	≧500
Position		Any orientation
Weight (kg)	Air cooling Water cooling	45 47
Controller		TC2403	TC2403-10※3

*1 ：使用1000L/min的前級真空泵時*
2 ：因電源型號而異。
*3 ： TG2400F-40

[使用環(huán)境溫度]

確保您達(dá)到極限壓力的環(huán)境溫度范圍為 10-23°C。風(fēng)冷型允許環(huán)境溫度為10-32°C，水冷型允許環(huán)境溫度為10-40°C。保證極限壓力的冷卻水最高溫度為30°C，冷卻水允許溫度范圍為10-35°C。

[對應(yīng)氣體]

一些使用氣體會使?jié)櫥蛢?nèi)部零件變質(zhì)。請聯(lián)系 Osaka Vacuum 獲取適用氣體類型的列表。

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