產(chǎn)品分類
技術(shù)文章/ TECHNICAL ARTICLES
更新時(shí)間：2025-04-23 
瀏覽次數(shù)：452可以使用 GISAXS 和 X 射線反射 （XRR） 測(cè)量來(lái)測(cè)量 CD，以測(cè)量薄膜厚度、密度和粗糙度。
兼容最大 300 毫米的晶圓
| 技術(shù) | 傾斜小角 X 射線散射測(cè)量 （GISAXS）， X 射線 反射測(cè)量 （XRR） | |
|---|---|---|
| 用 | 淺層重復(fù)結(jié)構(gòu)的臨界尺寸測(cè)量 | |
| X 射線源 | 包合管，Cu Ka （8.04 KeV） | |
| X 射線光學(xué)元件 | 多層反射鏡光學(xué)元件 | |
| X 射線探測(cè)器 | 二維探測(cè)器 | |
| 主要組件 | 圖案化晶圓測(cè)量周期性 精細(xì)3D形狀線 和空間，點(diǎn)或孔結(jié)構(gòu) ，淺孔/列，抗蝕劑，掩模圖案，存儲(chǔ)設(shè)備單元區(qū)域，F(xiàn)inFETs/GAAs | |
| 特征 | 圖形識(shí)別和全晶圓映射 | |
| 選擇 | GEM300 軟件，支持 E84/OHT | |
| 本體尺寸 | 1865（寬）× 3700（深）× 2115（高）毫米，2965 公斤（包括裝載口） | |
| 測(cè)量目標(biāo) | GISAXS：間距、CD、高度、SWA（側(cè)壁角度）、RT（頂部圓角）、RB（底部圓角）、線寬分布、間距分布、高度分布 XRR：薄膜厚度、密度和粗糙度 | |
關(guān)于我們
公司簡(jiǎn)介榮譽(yù)資質(zhì)資料下載產(chǎn)品展示
GF-603AWP最小稱重1.8g日本AND精密天平 GF-403AWP可讀性0.001 克AND精密天平 GX-203AWP防止損壞重量傳感器AND精密天平 GX-224A日本AND最小穩(wěn)重120mg精密天平 GF-324A雙向 USB 接口日本AND高級(jí)精密分析天平服務(wù)與支持
技術(shù)文章新聞中心聯(lián)系我們
聯(lián)系方式在線留言版權(quán)所有 © 2025 北崎國(guó)際貿(mào)易（北京）有限公司 備案號(hào)：京ICP備17005343號(hào)-5
技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登陸 sitemap.xml
電話：TEL
地址：ADDRESS
掃碼關(guān)注我們
我的位置：
上一篇：
在線咨詢
返回頂部